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制造一颗化学气相沉积设备部件硅晶圆需要的半导体设备?(二)

2020-07-09 15:44:53

6、光刻机

又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等,常用的光刻机是掩膜对准光刻,一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。化学气相沉积设备部件


7、离子注入机

它是高压小型加速器中的一种,应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子,经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流,用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入,还用于金属材料表面改性和制膜等  。


在进行硅生产工艺里面,需要用到离子注入机对半导体表面附近区域进行掺杂,离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备,离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型,离子注入与常规热掺杂工艺相比可对注入剂量角度和深度等方面进行的控制,克服了常规工艺的限制,降低了成本和功耗。


化学气相沉积设备部件


8、引线键合机

它的主要作用是把半导体芯片上的Pad与管脚上的Pad,用导电金属线(金丝)链接起来。引线键合是一种使用细金属线,利用热、压力、超声波能量为使金属引线与基板焊盘紧密焊合,实现芯片与基板间的电气互连和芯片间的信息互通。在理想控制条件下,引线和基板间会发生电子共享或原子的相互扩散,从而使两种金属间实现原子量级上的键合。


9、晶圆划片机

因为在制造硅晶圆的时候,往往是一整大片的晶圆,需要对它进行划片和处理,这时候晶圆划片机的价值就体现出了。之所以晶圆需要变换尺寸,是为了制作更复杂的集成电路。


10、晶圆减薄机

在硅晶圆制造中,对晶片的尺寸精度、几何精度、表面洁净度以及表面微晶格结构提出很高要求,因此在几百道工艺流程中,不可采用较薄的晶片,只能采用一定厚度的晶片在工艺过程中传递、流片。晶圆减薄,是在制作集成电路中的晶圆体减小尺寸,为了制作更复杂的集成电路。在集成电路封装前,需要对晶片背面多余的基体材料去除一定的厚度,这一工艺需要的装备就是晶片减薄机。


当然了,在实际的生产过程中,硅晶圆制造需要的设备远远不止这些,制造硅晶圆的难度不亚于航空母舰。之所以光刻机的关注度超越了其它半导体设备,这是由于它的技术难度是高的,目前仅有荷兰和美国等少数国家拥有核心技术。近年来,国内的企业不断取得突破,在光刻机技术上也取得了不错的成绩,前不久,国产首台超分辨光刻机被研制出来,一时间振奋了国人,随着中国自主研发的技术不断取得进步,未来中国自己生产的晶圆也将不断问世。


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