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半导体设备耗材碳化硅的制作工艺

2020-07-09 16:13:30

中国碳化硅冶炼生产工艺、技术装备和单吨能耗达到高水平。


中国碳化硅与高水平的差距主要集中在四个方面:

一是在生产过程中很少使用大型机械设备,很多工序依靠人力完成,人均碳化硅产量较低;

二是在碳化硅深加工产品上,对粒度砂和微粉产品的质量管理不够精细,产品质量的稳定性不够;

三是某些尖端产品的性能指标与发达国家同类产品相比有一定差距;

四是冶炼过程中一氧化碳直接排放。半导体设备耗材


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国外主要企业基本实现了封闭冶炼,而中国碳化硅冶炼几乎全部是开放式冶炼,一氧化碳全部直排。2012年,中国企业开发出了封闭冶炼技术,实现了一氧化碳全部回收,但是距离全行业普及还有很长的路要走。

中国有碳化硅冶炼企业200多家,年生产能力220多万吨(其中:绿碳化硅块120多万吨,黑碳化硅块约100万吨)。冶炼变压器功率大多为6300~12500kVA,冶炼变压器为32000kVA。加工制砂、微粉生产企业300多家,年生产能力200多万吨。


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