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客户规格 | |||||||||
直径 | 200 ± 0.2 |
mm | 厚度 | 725 ± 25 |
µm | LPD @0.2-µm | < 30 |
ea/wf | |
类型 | P | TTV | < 5 |
µm | Metal Contamination | < 1 | E10atom s/cm2 | ||
方向 | <100> ± 1 |
degree | Bow | < 30 |
µm | ||||
电阻率 | 1 - 100 |
ohm-cm | Warp | < 30 |
µm | ||||
实际数据 | ||||||||||
参数 |
Customer Spec |
Unit |
Max. |
Min. |
Ave. |
Std. | ||||
直径 |
200 ± 0.2 |
mm |
200.10 |
199.95 |
200.00 |
0.03 | ||||
类型 |
P |
P | ||||||||
方向 |
<100> ± 1 |
degree |
<100> ± 1 | |||||||
电阻率 |
1 - 100 |
ohm-cm |
45.04 |
12.49 |
35.39 |
5.73 | ||||
厚度 |
725 ± 25 |
µm |
728.54 |
719.53 |
724.89 |
2.79 | ||||
TTV |
< 5 |
µm |
2.88 |
0.96 |
2.37 |
0.68 | ||||
Bow |
< 30 |
µm |
8.41 |
-2.82 |
4.45 |
1.91 | ||||
Warp |
< 30 |
µm |
14.83 |
4.16 |
9.82 |
3.11 | ||||
LPD @0.2-µm |
< 30 |
ea/wf |
26 |
1 |
15.52 |
3.16 | ||||
金属污染 |
<1 |
E10atoms/cm 2 | Al | Fe | Zn | Na | K | Cu | ||
<1 | <1 | <1 | <1 | <1 | <1 | |||||
Ca | Cr | Ni | (unit:1E10atoms/cm2) | |||||||
<1 | <1 | <1 | ||||||||
8-12寸晶圆半导体设备耗材
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